可吸附有機鹵化物活性碳濾料是采用高吸附能力柱狀或顆粒活性炭，經(jīng)酸洗烘干，在負壓狀態(tài)下，添載堿性金屬，能有效去除氯、氟、氟化氫等鹵化物氣體。常用于半導(dǎo)體行業(yè)的蝕刻工序，保證工作場所的凈化。

    活性碳是一種多孔性的含炭物質(zhì)，它具有高度發(fā)達的孔隙構(gòu)造，是一種極優(yōu)良的吸附劑，每克活性碳的吸附面積更相當(dāng)于八個網(wǎng)球埸之多。而其吸附作用是藉由物理性吸附力與化學(xué)性吸附力達成. 其組成物質(zhì)除了炭元素外，尚含有少量的氫、氮、氧及灰份，其結(jié)構(gòu)則為炭形成六環(huán)物堆積而成。由于六環(huán)炭的不規(guī)則排列，造成了活性碳多微孔體積及高表面積的特性。